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高性能FIB-SEM系统 Ethos

类别:电子显微镜・原子力显微镜

高性能FIB-SEM系统 Ethos(图1)

“Ethos”选用日立高新科技的关键技术--全世界技术领先的亮度高尬聊发送射线管及新研制的磁感应复合型双光透镜,不仅可以在低加快工作电压下完成高辨别观查,还能够在FIB生产加工时完成即时观查。

SEM镜筒内标准配置3个探测仪,可与此同时观测到二次电子数据信号的外貌像及其二次电子电子器件数据信号的成份衬度像;可十分便捷的协助FIB找寻到纳米技术限度的总体目标物,对其观查及其生产加工剖析。

此外,全新升级设计的超大型试品仓设定了好几个配件插口,可安裝EDS*1和EBSD*2等各种各样分析仪。并且NX5000标准配置超大型防震试品台,可全方位生产加工并观查较大直徑为150mm的试品。

因而,它不但可以用以最优秀半导体元器件的检验,并且还能够用以从微生物到钢材永磁材料等各种各样试品的综合分析。